洁净空调系统与普通空调系统的主要差别,在于洁净度有不同的要求,洁净度受各种因素的影响,---的洁净效果,不但要有合理的设计,而且要有严格的施工及维护管理。本文结合工程实例通过对净化空调系统的设计进行了介绍,并分析和探讨了净化空调系统在设计、施工及维护管理等方面应注意的问题。
1?工程概况
该洁净区为洁净室,整个洁净区包括2个100级(015μm)、(面积35m2、310m高)、3个1000级(面积40m2、310m高)洁净室,及其它辅助用房等。根据洁净室的要求,在建筑布置时把其设在人员流动较少的建筑顶部,布置成中间走廊连接各洁净室的形式,并考虑了洁净室人、物的净化流程,洁净室内温湿度参数为t=23~25℃,φ=40~60%。
2?洁净室的计算
2.1?冷负荷计算
洁净室冷负荷计算与常规空调冷负荷计算一样,洁净车间施工,也要计算围护结构,设备、人体、照明及新风负荷等,在此不再详述。
2.2?送风量确定
根据<空气洁净技术措施>的要求,从满足洁净度的要求出发,本着节约的原则,本工程在100级(015μm)洁净室送风量按40次/h换气次数计算,洁净车间多少钱,1000级洁净室送风量按30次/h换气次数计算,10000级洁净室送风量按25次/h换气次数计算。
2.3?新风量确定
洁净室新风量按下述3项中的值取值。
(1)按总送风量的10%~30%。
(2)补偿室内排风和保持正压所需新风量。(3)---室内每人的新风量不少于40m3/h。
实验室净化工程的原理和作用:控制产品(如硅芯片等)所接触---的洁净度及温湿度,使产品能在一个---的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。实验室净化工程分类:一、净化工程乱流式空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(hepa)进入洁净工程室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。二、净化层流式层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为class1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回,尘埃随风向排出室外,一般在---侧污染较---。优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。(2)垂直层流式:房间---完全以ulpa过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,---之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
?系统控制
5.1?温湿度控制
本工程对洁净室的温湿度进行了监控和控制。在洁净室内可根据需要调节温湿度,在机房内也可实现远程控制,实现室内温湿度的恒定。夏季工况:新风一次回风混合后,由组合式空调器冷却除湿后将空气由混合点c处理至机器l,然后与二次回风混合至送风状态点o,后送至室内,由于洁净室要求送风温差小,采用二次回风系统后节省了抵消再热量所需冷量,节约了初投资及运行费用。
冬季工况:冬季通过控制电加湿器、电加热器来实现室内温湿度的恒定,新风一次回风混合后至c1,混合空气c1等温加湿至s点,后与室内二次回风混合至s1,经电加热器加热至o′点送入室内,绍兴洁净车间,达到控制室内温湿度目的。
5.2?正压控制
洁净室必须保持正压,以---不受外界环境污染,本洁净区100级洁净室正压控制在15pa左右,走廊正压值控制在5pa左右。
考虑到余压阀在长期使用后,关闭会不严密,洁净车间报价,影响正压值的控制,本工程采用控制排风机的运行来达到控制室内正压的目的,达到了较好的效果。
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