(1)静电防护
当两种不同的绝缘物体相互摩擦分离时,就会各自产生数量相同、极性相反的电荷,从而形成带电,产生静电现象,当产生的静电积蓄并由此产生静电电荷放电时,就会产生静电危害。
静电防护技术主要是伴随着半导体业的大发展而迅速发展起来的。随着上世纪四十年代半导体器件的研发成功,在以后短短的几十年时间里,半导体、微电子、光电子行业的发展非常迅速;与此同时,静电对集成电路、光电器件等的损害也日益---:随着集成电路集成度的提高,集成电路的内绝缘层越来越薄、互连导线宽度与间距越来越小,cmos器件绝缘层的典型厚度约为0.1μm,其相应耐击穿电压大致为80至100v,vmos器件绝缘层更薄,其相应耐击穿电压为30v左右,而千兆位dram的耐击穿电压仅为10至20v,这些产品的生产和运输、储存等过程中产生的静电电压远大于上述阈值,因此可能造成器件产生击穿(或)软击穿,使之失效或---影响产品---性。据惠普公司的---,美国在集成电路---发展的初期,每年因静电造成电子工业直接---达一百多亿美元。美国艘阿波罗载人宇宙飞船,就是因静电引燃液氧导致发射失败,三名宇航员因此丧生。鉴于静电危害给半导体等行业造成的---损失,从20世纪60年代初起,欧美开始投入大量人力和资金研究和解决半导体等行业的静电防护问题,并由此催生了专门的防静电行业。经过数十年的努力,至20世纪90年代,静电对半导体等行业造成损失---减少。惠普公司对半导体、电子、光电子行业的静电防护投入情况---发现,每投入1美元用于静电防护可减少9美元损失。
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一:净化系统使运行時间规定每一次试验前要打开净化系统使运行至少1h之上,另外打开净化台和紫外线杀菌灯。
二:物件进到净化车间(无尘车间)的基础规定:凡进到净化车间(无尘车间)的物品务必先在一缓冲间内对外界表层用消毒液消毒灭菌,再经货运物流缓冲间、不锈钢传递窗除1菌后再送进净化车间。留意带化学纤维、高发尘物件不可带进清洁试验室。净化车间内固定不动物件不可随意搬离。
三:工作人员进到净化车间规定:试验工作人员进到净化车间不可彩妆、带腕表、钻戒等饰品;不可进食、嚼口香糖。应清理手后进到一缓冲间换衣,另外换掉消毒隔离凉拖,脱去外套,用消毒剂消毒两手后戴上无菌手套,换掉无菌检测连衣帽(不可让秀发、衣等曝露在外面),戴上无菌检测防护口罩。随后,换或者再戴上第二副无菌手套,在进到第二缓冲间时换第二双消毒隔离凉拖。再经不锈钢风淋室30s风淋室后进到净化车间。
四:温度湿度观查规定:观查温度表、湿度计上显示信息的温度湿度是不是在要求的范畴内,并做为试验原始记录处理完毕。如发现问题应立即找寻缘故,立即报障和立即---试验室负责人,并将报障缘故和結果纪录存档。
在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、---等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所---设计的房间,不论外在空气条件如何变化,净化公司找,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。乱流洁净室的主要特点是---流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;非均匀流。
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